Lò nung chân không TOB TOB-DSP-1200℃-PECVDS (1200℃,0.1-10 5Pa)

Liên hệ để biết giá

  • Thông số kỹ thuật
  • Thông tin hãng sản xuất
Chi tiết sản phẩm
Công suất: 3.5 KW
Kích thước ống lò (mm): Dia 60(OD) X1200mm
Kích thước: 1300X420X1200
Nguồn: 220V
Số pha: Một pha
Chế độ điều khiển nhiệt độ
1.Điều khiển nhiệt độ Yudian: chỉ sử dụng nguyên lý điều khiển nhiệt độ PID cho 30 phần.
2.Điều khiển nhiệt độ FP93 (Công nghệ Nhật Bản)
Bộ khởi động: Bộ khởi động chuyển pha
SCR: 106 / 16E Germany Simon Kang
Nhiệt độ tối đa: 1200 °C
Nhiệt độ định mức: 1100 ℃
Độ gia nhiệt: ≤30 ℃/ phút (có sẵn theo yêu cầu thay đổi)
Độ chính xác điều chỉnh: +/- 1 ℃
Độ gia nhiệt đề xuất: ≤15℃/ phút
Chiều dài thiết bị gia nhiệt: 400mm
Kiểu cặp nhiệt điện: Kiểu K
Chứng chỉ: CE
Nhiệt độ bề mặt xung quanh: ≤45 ℃
Công suất động cơ quay: 40W
Công suất điện: 40W
Góc nghiêng lò: -10 ~30 độ
Độ quay ống: Tốc độ độ cơ có thể tùy chỉnh thay đổi liên tục 1-25 rev / phút
Công suất Plasma RF
Dải công suất đầu ra: 0-500W
Cong suất phản xạ tối đa: 10W
Tần số tín hiệu: 13.56MHZ ± 0.005%
Độ ồn:<30 dB
Làm mát bằng khí: Phương pháp làm mát
Công suất đầu vào: 208-240V 50 / 60HZ
Thông số kỹ thuật kệ thống cung cấp GX
Dải đo chuẩn: Độ điều chỉnh dòng proton 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM,
1,2,3,5,10SLM
(tùy chọn thang đo)
Độ chính xác: ± 1.5%
Áp suất giảm: <0.01MPa
Độ lặp lại: ± 0.2% F.S
Áp suất vận hành tối đa: 3MP
Hệ thống xả VS-0.1
Nguồn: 220V / 380V 380W
Lưu lượng bơm: 2L / S
Đồng hồ đo điện trở chân không: ZDR-I
Dải đo chân không: 0.1-10 5 Pa
Bơm chân không: VRD-8
Ống cong: KF25X1000mm
Hệ thống chân không: 10 -1Pa
Chi tiết
Datasheet
-
-