Chi tiết sản phẩm

'Dải đo:
- Trục Z (dọc): 320µm(-160µm~160µm), 12600µin(-6300µin~+6300µin)
- Trục X (Ngang): 17.5mm (0.69inch)
Độ phân giải:
- Trục Z (dọc): 0.002µm/±20µm, 0.004µm/±40µm
0.008µm/±80µm, 0.02µm/±160µm
Tiêu chuẩn: ISO4287, ANSI b46.1, DIN4768, JISb601
Bộ lọc: RC, PC-RC, Gauss, D-P
Chiều dài cắt (lr): 0.25, 0.8, 2.5mm
Độ chính xác: 0.001µm
Dung sai: ±(5nm + 0,1A); A = Giá trị tiêu chuẩn Ra của mẫu
Độ lặp: ≤3%
Độ lắng cặn: ≤0.010µm
Nguồn điện: Pin Lithium ion 3600mAh
Kích thước máy chính: 155×145×58mm
Kích thước bộ truyền động: 23×27×115mm
Thu phóng chiều cao bộ điều hợp: 40mm
Trọng lượng: ≈1000g
Môi trường làm việc: Nhiệt độ: -20℃~40℃; Độ ẩm: <90% RH
Bảo quản và vận chuyển: Nhiệt độ: -20℃~40℃; Độ ẩm: <90% RH'