Chi tiết sản phẩm

'- Phạm vi đo:
Trục X: 200 mm
Trục Z1: 5 mm (±2.5 mm ở trạng thái nằm ngang)
- Độ thẳng (khi trục X nằm ngang): 0.6 µm/200 mm
- Độ chính xác (20°C):
Trục X: (0.8+0.015L) µm L = Chiều dài đo (mm)
Trục Z1 (đầu đo): ±(1.2+|2H|/100) µm H = Chiều cao đo từ vị trí nằm ngang (mm)
- Máy đo (trục Z1)
Phương pháp phát hiện: Độ tự cảm vi sai
Lực đo: 0.75 mN
Đầu đo cảm ứng:
Tiêu chuẩn: Bán kính 2 µm, Góc 60°, Kim cương (độ nhám bề mặt/biên dạng)
Hình nón: Bán kính 25 µm, Góc 30°, Sapphire (biên dạng)
Đầu đo lên/xuống: Có sẵn (có thể dừng ở giữa hành trình nếu cần)
- Góc nghiêng trục X: ±45°
- Phạm vi hành trình trục Z2 (cột): 500mm
- Kích thước đế (W×D): 1000x450
- Vật liệu đế: Đá Granite'