'Phạm vi đo lường
Trục X: 100 mm
Trục Z1: 800 µm, 80 µm, 8 µm
Độ thẳng (khi trục X nằm ngang): (0.05+0.001L) µm L = Chiều dài đo lường (mm
Góc nghiêng trục X: ±45° (Chỉ dành cho các mẫu có bộ truyền động nghiêng trục X)
Phạm vi hành trình trục Z2 (cột): 500mm
Đế (dài x rộng): 60×450 mm
Vật liệu đế: Đá granite'
