Chi tiết sản phẩm

'Độ phân giải:
Dải đo 1: 7.6 nm
Dải đo 2: 0.76 nm
Điểm bắt đầu chiều dài di chuyển đầu đo (trục X): 0 mm
Chiều dài que đo: 45 mm (x1), 67.5 mm (x1,5), 90 mm (x2), 112.5 mm (x2,5), 135 mm (x3)
Điểm kết thúc chiều dài di chuyển đầu đo (trục X): 140 mm
350 mm Z-axis
Có điều chỉnh góc trục X
Tốc độ định vị: 0.02 – 200 mm/s (trục X)
Độ lệch: 0.07 µm / 20 mm,0.2 µm /  60 mm,0.4 µm / 140 mm
Tốc độ đo: lên đến 10 mm/s
Dải đo: 500 µm (±250 µm) que đo 45 mm
1500 µm (±750 µm) que đo 135 mm'